MMS-ZFA 2010精密零件/集成电路测量显微镜

MMS-ZFA 2010测量显微镜是我司独立开发的，是具有裂像功能的一款新型显微镜。其以影像法测量原理为基础，采用光学焦点位置检测方式进行非接触高低差测量。除了观察测量点的表面状态外，还能对高度、深度、高低差等进行精密测量。本仪器还具有明暗场，偏光的观察功能，所以特别适合对极细微的间隙高低差、夹杂物、突起、细微划痕进行观察。

本产品适用于硅片、IC、LCD、TFT、PCB、MEMS激光加工、晶片测试、半导体材料、线束加工蚀刻、液晶电池盖、导线框架等产品的检查观察。

也适用于几何形状的显微观测，并且有三维的计量功能。因此是精密零件，集成电路，半导体芯片，光伏电池，光学材料等行业的必备仪器。

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