MX8R三目明暗场微分干涉工业检测显微镜配置了落射与透射照明系统、明暗场半复消金相物镜、内置偏光观察装置,具有图像清晰、衬度好,造型美观,操作方便等特点,配备了高性能DIC组件,可以将明场观察下无法检测的细微高低差,转化为高对比度的明暗差并以立体浮雕新式表现出来,广泛用于LCD导电粒子,精密磁盘表面划痕检测等领域
兼具稳定性和安全性,能够安全可靠的传送晶圆,适合于前道到后道工程的晶圆检查。拥有AWL046、AWL068两种机型,分别可适用于4/6英寸晶圆检测,6/8英寸晶圆检测,适应范围广、搭配灵活。可自由设置的检查模式,充分符合人机工程学设计,操作舒适、简便。